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IC 扫描仪

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德国LANGER公司开发和生产的高分辨率电磁兼容扫描仪，能在3线性轴（x,y,z）或者4轴（ 3线性轴：x,y,z和α旋转）运动，分辨率高达5μm，适合于集成电路（IC）以及手机等手持终端的电磁干扰扫描。
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